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(活力中国调研行)浙江绍兴:AI赋能硅片制造 加速半导体材料国产突围
中新网绍兴8月1日电(刘子琳 项菁)“半导体硅片制造装备搭载了AI视觉系统,可依靠成像算法实时捕捉晶体生长状态、研判工艺波动,即时给出最优工艺调整方案。”8月1日,在位于浙江绍兴上虞的浙江晶盛机电股份有限公司生产车间,一套套半导体硅片制造装备有序运转,该公司抛光设备研究所所长李阳健受访时如是说。...
晶合集成新获得发明专利授权:“一种半导体结构及其制备方法”
专利摘要:本发明提供一种半导体结构,包括:衬底;栅极结构,形成于所述衬底上;侧墙结构,形成于所述衬底上,所述侧墙结构包括多个侧墙层,所述侧墙层位于所述栅极结构的外围;以及源极结构与漏极结构,形成于所述衬底上,所述源极结构与所述漏极结构位于所述侧墙结构的两侧;其中,相邻两个所述侧墙结构之间的间距大于所...

